高分辨率：采用高分辨率成像系统，提升颗粒探测灵敏度至微米量级
高检出率：配置多种照明模式，提高不同缺陷检测工艺适应性
高产率：配备3个独立SMIF版库、提高设备产率
颗粒清洁：配置气浴模块，可清洁玻璃表面颗粒
工厂自动化：支持SECS/GEM SEMI标准，全面满足工厂自动化需求
微信公众号
合肥地址：安徽省合肥市高新区华佗巷469号1号楼
上海地址：中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路899号11栋
合肥电话：0551-65116087
上海电话：021-50935077
Email: yuweitek@lucythelapdog.com