高分辨率：采用高分辨率成∏像系统，提升颗粒探测◤灵敏度至微米量级
高检出率：配置多种照明模式，提高不同缺陷检测工艺适应【性
高产率：配备3个独立SMIF版库、提高〖设备产率
颗粒清洁：配置∑ 气浴模块，可清洁玻璃表面颗☆粒
工厂自→动化：支持SECS/GEM SEMI标准，全面满足工厂自动化需求
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