2022年7月28日，御微半导体首台全自动掩模缺陷检测设备i6R-300顺利发运国内集成电路先进制程生产线。

御微半导体自主研发的i6R-300掩模缺陷检测设备是㊣　基于已被业界广泛认可i6R-100和i6R-200掩模缺陷检测设备的进▆一步升级开发。i6R-300采用高精度╲明暗场双检测系统，可以快速高效地同时检测光掩模多个表面上的细微缺陷，并提供缺陷分类卐、全景检视等功能，为工艺过程控制提供关键数据。为提高生产效率，i6R-300检测Ψ 设备满足完整的SEMI 自动⊙化标准，可灵活对接OHT和AGV等工厂自动化工具。除检测功能外，i6R-300还提供了光罩清○洁和多类型掩模支持的一站式解决方案，能够灵活满足〖不同客户工艺管控的需求。

御微半导体i6R-300掩模缺陷检测设备

i6R-300是☆御微半导体推出的用于集成电路先进制程领域的新一代①掩模缺陷检测设备，进一步丰富了御微半导体现有的掩模检测♂设备产品线。御微半导体将致力强化核心技术，不断提升研发↑、设计、制造能力，持续以优质的产品和全面的服务为客户创造价々值。

关于御微

御微半导体是一家◤以市场和技术双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的科创企业。公司面□向集成电路制造、先进封装、化合∮物半导体、新型显示等领◣域，为客户提供具有竞争力的产品及技术解决方案。公司聚焦于集成电路光学量检测系统设⌒　计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检ㄨ测、晶圆测量等4大领域6大类量检测产品。深耕技术实力、提高产品性能，丰富产品类型，促进国内半导体设备产业健康快速发展，为客户不断创造价◆值。